中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心
的有关信息介绍如下:
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心成立于2002年,是中国科学院半导体研究所下属的综合性半导体工艺技术研发平台。中心拥有1700平方米超净工艺线和1100平方米办公空间,配备电子束光刻设备、等离子体刻蚀系统等先进仪器,具备微纳电子、光电子等器件加工与测试能力,现任主任为杨富华研究员,副主任为季安研究员 。中心的固定工作人员总人数为34人,其中拥有高级职称的人员有23名 。
该中心于2004年12月正式运行,建立了规范的人员、服务和设备管理体系,具备了微纳电子学、光电子学以及微电子机械器件的集成加工及测试表征能力 。中心通过规范化管理支撑国家级重大项目研究与人才培养,并加入中国科学院所级公共技术服务中心、北京纳米科学大型仪器区域中心等联合服务平台 。2025年11月25日,中心联合北京市科委、中关村管委会中关村高科技产业促进中心,成功举办首都科技条件平台及创新券政策宣讲会,以推进科技资源开放共享 。其主要任务包括提升半导体工艺技术、开发关键信息技术、推动科研成果转化,并致力于建设国际化技术合作与交流中心,面向全国科研机构开放服务 。
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