环境扫描式电子显微镜
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环境扫描式电子显微镜(Environmental Scanning Electron Microscope,ESEM)是扫描电子显微镜(SEM)的一种,能在样品室维持一定气压(如数百至数千帕斯卡)的气体环境(如水蒸气) 。其核心技术包括压差光阑系统和气体二次电子探测器(GSED),使得无需对样品进行脱水、干燥或喷镀导电膜等预处理,即可直接观察含水、含油、不导电等处于自然状态的样品 。该仪器于20世纪80年代末实现商业化 。
环境扫描电镜通常具有高真空、低真空和环境真空等多种工作模式 。其二次电子像分辨率在高真空模式下可达1.0纳米(30kV),在环境模式下可达1.3纳米(30kV),放大倍数范围可达数倍至数百万倍 。它常配备X射线能谱仪(EDS)进行元素分析 ,并可集成冷台、热台等附件,用于观察样品的动态过程(如脱水、结晶) 。主要应用于材料科学、生命科学、地球科学、环境科学及半导体研究等领域 。
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